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      瑞士VAT閥59.0 超高真空全金屬可變泄漏閥

      簡要描述:瑞士VAT閥59.0 超高真空全金屬可變泄漏閥
      59.0 超高真空全金屬可變泄漏閥
      滿足超高真空要求

      瀏覽次數:2518

      • 廠家實力

        Manufacturer Strength
      • 有效保修

        Valid Warranty
      • 質量保障

        Quality Assurance

      詳細介紹

      瑞士VAT閥59.0 超高真空全金屬可變泄漏閥

      適用于最小氣流的高精度計量59.0 超高真空全金屬可變泄漏閥可以精確控制極小的氣流(1 × 10-10 mbar ls-1 至 500 mbar ls-1)。該系列閥門采用全金屬設計,是滿足超高真空和超高真空工藝中氣體計量要求的理想選擇。

      59.0 系列的特殊控制功能確保可重復的精確氣流設置,增強了過程控制能力。其還能在整個使用壽命內提供可靠的密封關閉,不會出現任何密封疲勞風險。

      此外,59.0 系列采用全金屬設計(高級不銹鋼閥體和鍍金不銹鋼薄膜閘封),因此具有出色的抗腐蝕性和抗腐蝕性氣體特性。

      59.0 系列已經安裝在數百個各種工藝條件下的要求苛刻的應用中,證明了其可靠性。其已成為超高真空和真空應用中可變泄漏閥的標準解決方案。

      59.0 超高真空全金屬可變泄漏閥提供 DN為16 mm (5/8") 的角閥或內聯閥,帶手動驅動器,或帶配有步進電機的集成式或可拆卸壓力控制器。59.0 系列最高可烘烤至300℃。根據烘烤過程中的情況,可以在烘烤過程中取下驅動器。標準法蘭為 CF-R,固定到位。

      隔膜采用“硬對硬"密封技術,閥門在整個使用壽命內可進行 40 萬次控制循環和 1 萬次密封關閉循環,無需任何維護,其可作為零部件使用,并且易于更換。

      瑞士VAT閥59.0 超高真空全金屬可變泄漏閥

      59.0 超高真空全金屬可變泄漏閥主要特點


      特點:

      • 適用于最小氣流的高精度氣體計量

      • 精確可重復的氣流設置

      • 可靠的持續密封

      • 耐腐蝕和腐蝕性氣體


      優勢:

      • 在極小氣流下可實現最佳壓力控制

      • 工藝可控性增強

      • 正常運行時間長

      • 瑞士VAT閥59.0 超高真空全金屬可變泄漏閥

      技術數據
      尺寸

      DN 16 (?")
      驅動器
      手動
      方向盤
       
      帶步進電機的集成式或可拆卸壓力控制器
      閥體材料

      不銹鋼
      標準法蘭

      CF-R
      密封技術

      隔膜
      泄漏率
      閥體
      < 1 × 10-10 mbar ls-1
       
      閥座
      < 1 × 10-10 mbar ls-1
      壓力范圍

      超高真空至 2bar(絕對壓強)
      壓差打開時≤ 10 bar
      死區
      角閥:
      閥座側
      側端口
      2.7 cm3
      1.1 cm3
       
      內聯閥:
      閥座側
      側端口
      0.98 cm3
      1.01 cm3
      首維護前開關次數

      20 000
      烘烤溫度
      閥體
      ≤ 300 °C
       
      手動驅動器
      ≤ 300 °C 
       
      帶步進電機的控制器
      ≤ 50 °C 
      加熱和冷卻速率

      ≤ 60 °C h-1
      材料
      閥體
      AISI 660 (1.4943), AISI 316L (1.4404)
       
      隔膜
      AISI 301 (1.4310), 鍍金
      安裝位置

      任何位置
      閥門位置指示

      視覺(比例)
      流導(分子流)

      0.05 ls-1
      可調節氣流

      1 × 10-10 mbar ls-1 至 500 mbar ls-1
      重量
      帶手動驅動器
      0.94 kg / 2.07 lbs
       
      帶受控步進電機
      2.5 kg / 5.5 lbs


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